1. HOME
  2. 제품안내
  3. AGD

AGD

Semiconductor Wet Process Total Solution

ATS-1000/ATS 3000

On-Line Chemical Concentration Monitoring System

  • 적정법(Titration)을 기반으로 한 약액 Sample 농도 분석
  • 정밀성, 정확성, 선택성 등 향상된 performance 제공
  • 자동 약액 Sample 채취 / Cleaning / Measuring 구현
  • Stand alone 방식으로 Lab, 농도 분석 및 공정 관리 가능
  • Syringe control 및 sample loop 방식의 약액 Sample 채취에 의한 희석비 제어
  • μ dosing system에 의한 최소 시약 소모로 유지비용 절감
  • 동시 성분 분석 control에 의한 빠른 응답 시간 구현
  • 시약 내장에 의한 설치 공간의 최소화(선택 사양)
  • Load cell(무게 측정)과 level 센서에 의한 시약 잔존 무게 관리
  • 검증된 부품 사용에 의한 MTBF(평균 고장 간격) 제공
ATS-1000
H2O2 in Slurry
ATS-3000
DSP+