Semiconductor Wet Process Total Solution
정방향에서는, 저압력에서 열리는 역류방지 밸브 이며 접액부에는 내약품성이 뛰어난 불소수지 및 Metal Free를 적용하여 광범위한 약품에 사용 가능 및 간편하여 설치가 용이합니다.
구분 | ⓐ 접속 SIZE | ⓑ O-RING 재질 | ⓒ 접속 방식 | ⓓ 재질 |
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내용 | 하기 표 참조 | P : Perfluoro(일반/고온) K : Kalrez(일반/고온) V : Viton(FKM)(일반) |
F : Fit-One(일반/고온) T : Rc(일반) N : Nano Link System(일반/고온) TF : Tube Flare(PTFE Tube)(일반) |
PTFE : PTFE |
접속방식 | Fit-One (Inch Size) | |||||
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기호 | H1(일반) | H2(일반/고온) | H3(일반/고온) | H4(일반/고온) | H6(일반/고온) | H8(일반) |
접속 Size (Inch) | 1/8" | 1/4" | 3/8" | 1/2" | 3/4" | 1" |
튜브 Size (O.D x I.D) | 3.18 x 2.18 | 6.35 x 3.95 | 9.53 x 6.35 | 12.7 x 9.53 | 19.05 x 15.8 | 25.4 x 22.2 |
오리피스 | ø2 | ø4 | ø6.3 | ø10 | ø15.8 | ø22 |
접속방식 | Fit-One (mm Size) | |||||||
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기호 | M3(일반) | M4(일반/고온) | M6(일반/고온) | M8(일반/고온) | M10(일반/고온) | M12(일반/고온) | M19(일반/고온) | M25(일반) |
접속 Size (mm) | 3mm | 4mm | 6mm | 8mm | 10mm | 12mm | 19mm | 25mm |
튜브 Size (O.D x I.D) | 3 x 2 | 4 x 3 | 6 x 4 | 8 x 6 | 10 x 8 | 12 x 10 | 19 x 15.8 | 25 x 22 |
오리피스 | ø2 | ø3 | ø4 | ø6.3 | ø8 | ø10 | ø15.8 | ø22 |
접속방식 | Nano Link System | |||||
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기호 | N4(일반/고온) | N6(일반/고온) | N8(일반/고온) | N10(일반/고온) | N16(일반/고온) | N22(일반) |
접속 Size (Inch) | 1/4” | 3/8” | 3/8” | 1/2” | 3/4” | 1” |
튜브 Size (O.D x I.D) | 6.35 x 3.95 | 9.53 x 6.33 | 9.53 x 7.53 | 12.7 x 9.5 | 19.05 x 15.8 | 25.4 x 22.2 |
접속 Size (mm) | 6mm | 8mm | 10mm | 12mm | 19mm | 25mm |
튜브 Size (O.D x I.D) | 6 x 4 | 8 x 6 | 10 x 8 | 12 x 10 | 19 x 15.8 | 25 x 22 |
오리피스 | ø4.4 | ø6.4 | ø8 | ø10 | ø16 | ø22.2 |
사용조건 | 사용압력 | 내압 | CRACKING 압력 | 온도 | 환경 온도 | 접액부 재질 | |
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일반 | 액체, 기체 | 0~0.4 MPa | 0.5 MPa | 0.02 MPa 전후 | 5~80℃ | 5~60℃ | PTFE |
고온 | 액체 | 0~0.4 MPa | 0.5 MPa | 0.02 MPa 전후 | 5~180℃ | 5~100℃ | PTFE |