Semiconductor Wet Process Total Solution
음압발생으로 유체를 흡입/배액하는 밸브로, 공압을 사용하여 조작이 용이합니다.
접액부에는 내약품성이 뛰어난 PTFE를 사용하여 광범위한 약품에 대응 가능합니다.
기호 | 6 | 10 |
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접속 Size(Inch) | 3/8" | 1/2" |
오리피스 | Ø9 | Ø12 |
튜브 Size (O.D x I.D) |
9.53 x 6.35 | 12.7 x 9.53 |
배수비율 | 10:1 | 5:1 |
표시 외 SIZE 대응 가능
ASPIRATOR | ACTUATOR | 접액부 재질 | ||||
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유체 | 구동 유체 | 구동유체 압력 | 배수 흡입량 | 조작 방법 | 조작 압력 | |
유체 | 구동유체 | 구동유체 | 5:1 -> 8.8L/min (at 0.2MPa) | 복동식 | 0.3~0.6MPa | PTFE |
10:1 -> 4.4L/min (at 0.2MPa) |